簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化銦鎵鋅"


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    以自組裝分子膜修飾氧化銦鎵鋅薄膜與閘極絕緣層界面之薄膜電晶體研究
    • 化學工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 梁雅翔 指導教授: 何郡軒 戴龑 None
    • 一般而言,薄膜電晶體使用黃光微影製程來進行圖案化以防止柵極漏電流,但是該方法不適合用於溶液製程的薄膜電晶體。我們開發了一種簡單快速的方法,透過旋轉塗佈自組裝單分子來製造具有低柵極漏電流的薄膜電晶體。…
    • 點閱:207下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    反應式濺鍍法之不同陶金靶材及氧氣流量對氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜的影響
    • 材料科學與工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 沈倢汝 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中,並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材,經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜,期望藉由…
    • 點閱:212下載:2

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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
    • 點閱:285下載:5
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